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類型分類:
科普知識
數據分類:
CCTV監控系統

專為半導體工廠提供的氣體監控系統

發布日期:2022-04-18 點擊率:52

    半導體廠由於制程特殊需求,必須使用各種化學品,其中不乏具有惰性、毒性、自/助燃及可燃性之氣體;與強酸、強鹼及有機溶劑之液態化學品,而這些氣態或液態之化學品經由儲存、搬運、換酸/換鋼瓶、管路輸送、制程反應、管末處理後,若因操作不當,即可能造成重大損失而產生立即性的危害。 

     半導體制程主要為薄膜(Thin Film)、微影(Photo)、蝕刻(Etch)與擴散(Diffusion)四大制程。在制造過程中,每一層電路大都循環此四制程,層層構建。制程中使用的化學物品非常多,在薄膜形成階段,雖有5-6種不同制程,但應用較廣且需投入較多種原物料者為化學氣相沉積、擴散等;在微影階段(黃光區),含涂布、曝光、顯影等步驟,投入量較多的原料有光阻劑、稀釋劑、顯影劑、清洗劑等;在蝕刻階段,乾蝕刻部分使用多種氣體,如HBr、Cl2、BCl3、SF6、CHF3、NF3、Ar等;濕蝕刻部分則以使用硫酸溶液去除光阻、使用磷酸溶液去除Si3N4薄膜、蝕刻SiO2所使用氫氟酸與硫酸、硝酸等多種強酸調配之化學品;清洗部分,除制程水外亦需配合適量雙氧水、無機酸、氨水、異丙醇(IPA)等      

       對半導體工業而言,保持安全地工作環境無疑是最重要的問題。為了確保制造流程的操作是在可以接受的參數范圍,現場工程師需要建立可靠地和性價比高的氣體監控網絡。

       這里所描述的氣體監測系統結合了為Backbone網絡所提供的以太冗余環網和為現場設備的連接所使用的ProfiBus FMS,從而產生有冗余機制的可以抵御網絡故障的可靠的網絡 。

 

網絡解決方案

       Backbone: 在多模光纖下全雙工快速以太網,在工廠層對分布式可連接以太網的所有PLC提供冗余連接。
現場總線: 為現場設備和儀表的連接提供的ProfiBus FMS 網絡。
SNMP OPC Server: 將以太網絡的管理功能方便的與領先的HMI/SCADA軟件進行整合。

 

為什么選擇 MOXA?

       快速冗余環網 (恢復時間< 300 ms) 可以通過Email或者尋呼機發送網絡異常警報和狀態報告可通過基于web的瀏覽器簡單的設置和管理光纖轉換器的連接故障功能Link Fault Pass-Through function with media converter SNMP OPC Server 方便的將網絡管理與 HMI/SCADA進行整合

 

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