發布日期:2022-10-07 點擊率:50
利用半導體材料的各種物理、化學和生物學特性制成的傳感器。所采用的半導體材料多數是硅以及Ⅲ-Ⅴ族和 Ⅱ-Ⅵ族元素化合物。半導體傳感器種類繁多,它利用近百種物理效應和材料的特性,具有類似于人眼、耳、鼻、舌、皮膚等多種感覺功能。
優點是靈敏度高、響應速度快、體積小、重量輕、便于集成化、智能化,能使檢測轉換一體化。半導體傳感器的主要應用領域是工業自動化、遙測、工業機器人、家用電器、環境污染監測、醫療保健、醫藥工程和生物工程。半導體傳感器按輸入信息分為物理敏感、化學敏感和生物敏感半導體傳感器三類。
工作原理
依據:半導體中不同的區域對不同的波長分別具有不同的靈敏度。
在具體應用時, 應先對該色敏器件進行標定。
測定不同波長的光照射下, 該器件中兩只光電二極管短路電流的比值ISD2/ISD1, (ISD1是淺結二極管的短路電流, 它在短波區較大, ISD2是深結二極管的短路電流, 它在長波區較大)。
確定二者的比值與入射單色光波長的關系。
根據標定的曲線, 實測出某一單色光時的短路電流比值, 即可確定該單色光的波長。
半導體溫度傳感器分為兩類:接觸型和非接觸型。接觸型又分為熱敏電阻與PN結型兩種。
隨著溫度的變化,半導體感溫器件電阻會發生較大的變化,這種器件稱為熱敏電阻。常用的熱敏電阻為陶瓷熱敏電阻,分為負溫度系數(NTC)熱敏電阻、正溫度系數(PTC)熱敏電阻和臨界溫度電阻(CTR)。熱敏電阻一般指NTC熱敏電阻。
PN結溫度傳感器是一種利用半導體二極管、三極管的特性與溫度的依賴關系制成的溫度傳感器。非接觸型溫度傳感器可檢出被測物體發射電磁波的能量。傳感器可以是將放射能直接轉換為電能的半導體物質,也可以先將放射能轉換為熱能,使溫度升高,然后將溫度變化轉換成電信號而檢出。這可用來測量一點的溫度,如測溫度分布,則需進行掃描。
當對象溫度低、只能發射紅外線時,則須檢出其紅外線(見光電導探測器)。
磁傳感器
磁傳感器主要基于霍爾效應和磁阻效應的原理。利用霍爾效應的器件稱為霍爾器件。當施加磁通B 時,電阻增加率墹R/R 可用下式表示。
式中μ為載流子遷移率。半導體的載流子遷移率(如InAs約為104厘米2/伏秒)比金屬(如Cu約為34.8厘米2/伏秒)大得多,所以半導體的磁阻效應很大。
半導體磁傳感器體積小、重量輕、靈敏度高、可靠性高、壽命長,在電子學領域得到應用。此外,還可利用磁效應制作長度與重量傳感器、高分辨(0.01度)的傾斜傳感器,以及測定液體流量等。
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